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表面粗糙度的变波矢光散射测量方法的研究
提出了表面粗糙度变波矢光散射测量方法,通过散射光强中心亮点光能量的参数ln,E随变化的线性关系来确定粗糙度w,对6块粗糙度不同的硅片背面......
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光散射
变波矢
粗糙度
测量法
light scattering
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